Станок лазерной маркировки и гравировки МЛП2-С

МЛП2-С — станок для лазерной маркировки и гравировки полупроводниковых пластин. Установка оснащена роботизированным манипулятором-загрузчиком пластин в зону обработки, что позволяет минимизировать участие оператора в процессе работы и минимизировать влияние «человеческого фактора».

Лазерные маркировщики являются оптимальным оборудованием для нанесения любой информации (текст, серийный номер, штрих-код, логотип), а также для выборочного удаления материала с поверхности изделия, резки тонких фольгированных материалов, микрофрезеровки и т.д.

Основные особенности

• Лазерный источник IPG 20/30/50 Вт
• Усиленный каркас, устойчивый к вибрациям
• Кабинетная защита
• Автоматизированная загрузка/выгрузка пластин с помощью пневматического робота-перегрузчика
• Ориентация и фиксация пластин в зоне маркировки, для нанесения маркировки в точно заданном месте
• Отсутствие любых механических повреждений пластин с обеих сторон

Лазерная установка МЛП2-С предназначена для маркировки и гравировки (фрезерование) полупроводниковых пластин, с автоматизированной загрузкой/выгрузкой и ориентацией их в зоне маркировки.

Обрабатываемые материалы: кремний (Si), карбид кремния (SiC), арсенид (GaAs) и фосфид галлия (GaP). Диаметры пластин – 60, 100, 150, 200 и 300 мм

• В качестве источника излучения используется импульсный волоконный иттербиевый лазер мощностью 20/30/50 Вт. Ресурс работы лазера не менее 100000 часов, что составляет более 17 лет при 2-х сменной работе.
• Сканирующая система. Скорость перемещения луча до 9500 мм/сек. Расчетная точность позиционирования пятна – 2,5 мкм.
• Поле обработки — 110*110 мм,175*175мм, 240*240 мм)
• Ассистент фокусировки на базе лазер-пилота.
• Блок автоматизированной загрузки/выгрузки пластин с помощью пневматического робота-перегрузчика предназначен для перемещения пластин между подающей, принимающей кассетами и столом ориентации и фиксации изделий для последующей лазерной обработки. Все загрузки пластин происходят за счет пневмозахвата, таким образом исключаются механические повреждения пластин.
• Стол ориентации и фиксации изделий позволяет принимать из пневматического робота-перегрузчика пластины без касания самой пластины поверхности стола за счет функции левитации. Ориентация пластин происходит за счет поворота роликами, контактирующих с нерабочим торцом пластины до определения местонахождения базового среза пластины.

Данная конструкция исключает любые механические повреждения полупроводниковых пластин с любой из сторон.

• Перед началом обработки пластина фиксируется на вакуумном столе, предотвращая поворот пластины и ее смещение от рабочего положения. Также механизм пневмоподброса позволяет вернуть пластину в робот-перегрузчик.
• Основные составные части машины смонтированы на силовом сварном каркасе, который выполнен в виде жесткой компактной станины. Для повышенной устойчивости опоры каркаса дополнительно усилены.
• Компьютер оператора, ОС Windows, 2 выхода USB для работы оператора
• Плита с Т-образными пазами для размещения обрабатываемой детали, оснасток и дополнительных приспособлений размером 500х250 мм.
• Опциональный встроенный канал телевизионного контроля с выводом изображения на дополнительный монитор.